圖解:兩軸高速激光掃描振鏡
兩軸掃描振鏡可以在 x 和 y 方向偏轉(zhuǎn)激光束。這就產(chǎn)生了一個(gè)二維區(qū)域,可引導(dǎo)激光射向其中的任何位置。此區(qū)域即為“打標(biāo)區(qū)域”,如圖中所示。偏轉(zhuǎn)由兩塊鏡片執(zhí)行,每塊鏡片由振鏡移動(dòng)。掃描振鏡有一個(gè)光束輸入端,激光束從此端輸入,還有一個(gè)光束輸出端,激光束偏轉(zhuǎn)后從此端射出。只有兼容激光才能輸入光束輸入端。根據(jù)激光類型,光束輸出端或者是打開的,或者裝有 f-theta 鏡頭或保護(hù)窗。
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